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技術(shù)文章/ARTICLE
四探針測試儀工作流程及原理
點擊次數(shù):8773 發(fā)布時間:2015/1/15 16:19:36
四探針測試儀是根據(jù)單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國A.S.T.M標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計的半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)測試專用儀器
四探針測量原理如圖(2)所示:
將四根排成一條直線的探針以一定的壓力垂直地壓在被測樣品表面上,在l、4探針間通以電流I(mA),2、3探針間就產(chǎn)生一定的電壓V(mV)(如圖1)。測量此電壓并根據(jù)測量方式和樣品的尺寸不同,計算樣品的電阻率或方塊電阻:
圖(2)直線四探針法測試原理圖
本儀器可滿足半導(dǎo)體材料、器件的研究生產(chǎn)單位對材料(棒材、片材)電阻率及擴(kuò)散層、離子注入層、異型外延層和導(dǎo)電薄膜方塊電阻測量的需要
四探針測試儀工作流程及原理
測試薄層方塊電阻R□:
計算公式:R□=V/I×F(D/S)×F(W/S)×Fsp (Ω/□)
選取測試電流I:I=F(D/S)×F(W/S)×Fsp 然后計算出測試電流值:I=A.BCD
原創(chuàng)作者:寧波瑞柯微智能科技有限公司