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技術文章/ARTICLE
雙電測四探針測試儀操作手冊
點擊次數：8450 發布時間：2015/1/16 16:36:10
FT-341用戶手冊
目 錄
（一）目錄………………………………………………………… 1
（二）前言/產品簡介……………………………………………2-3
（三）主要控制功能概述……………………………………… 4-8
（四）工作原理及計算公式……………………………………9-11
（五）操作流程及測試步驟…………………………………12-16
（六）維護及保養………………………………………………16-17
（七）儀器安裝要點……………………………………………17-19
（八）配置清單…………………………………………………… 20
（九）產品保修卡………………………………………………… 21
（十）產品質量保證卡……………………………………………22
一、前 言
概述：
FT-341雙電測四探針測試儀
本儀器本儀器采用四探針雙電測量方法，適用于生產企業、高等院校、科研部門，是檢驗和分析導體材料和半導體材料質量的一種重要的工具。本儀器配置各類測量裝置可以測試不同材料。液晶顯示，無需人工計算，并帶有溫度補償功能，電阻率單位自動選擇，儀器自動測量并根據測試結果自動轉換量程，無需人工多次和重復設置。采用高精度AD芯片控制，恒流輸出，結構合理、質量輕便，運輸安全、使用方便；選配：配備軟件可以由電腦操控，并保存和打印數據，自動生成報表；本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示，同時顯示液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導率，壓強 配置不同的測試治具可以滿足不同材料的測試要求。測試治具可以根據產品及測試項目要求選購.
雙電測數字式四探針測試儀是運用直線或方形四探針雙位測量。
標準要求：
該儀器設計符合單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準。利用電流探針、電壓探針的變換，進行兩次電測量，對數據進行雙電測分析，自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應以及探針不等距和機械游移等因素對測量結果的影響，它與單電測直線或方形四探針相比，大大提高精確度，特別是適用于斜置式四探針對于微區的測試。
二、產品簡介
技術參數及功能介紹
| 規格型號 | FT-341 | FT-342 | FT-343 | FT-345 | FT-346 | FT-347 |
| 1.方塊電阻范圍 | 10-5～2×105Ω/□ | 10-4～2×103Ω/□ | 10-3～2×105Ω/□ | 10-3～2×103Ω/□ | 10-2～2×105Ω/□ | 10-2～2×103Ω/□ |
| 2.電阻率范圍 | 10-6～2×106Ω-cm | 10-5～2×104-cm | 10-4～2×106Ω-cm | 10-4～2×104-cm | 10-3～2×106Ω-cm | 10-3～2×106Ω-cm |
| 3.測試電流范圍 | 0.1μA,1μA,10μA，100µA，1mA，10mA，100 mA | 1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100 mA | 0.1μA,μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100 mA | 1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100 mA | 0.1μA，1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100 mA | 1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100 mA |
| 4.電流精度 | ±0.1%讀數 | ±0.2%讀數 | ±0.2%讀數 | ±0.3%讀數 | ±0.3%讀數 | ±0.3%讀數 |
| 5.電阻精度 | ≤0.3% | ≤0.3% | ≤0.3% | ≤0.5% | ≤0.5% | ≤0.5% |
| 6.顯示讀數 | 大屏液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導率 | |||||
| 7.測試方式 | 雙電測量 | |||||
| 8.工作電源 | 輸入: AC 220V±10% ,50Hz 功 耗：<30W | |||||
| 9.整機不確定性誤差 | ≤3%（標準樣片結果） | |||||
| 10.選購功能 | 選購1.pc軟件； 選購2.方形探頭； 選購3.直線形探頭； 選購4.測試平臺 | |||||
三、主要控制功能概述
1.整機構造圖
1.1主機正面
設置鍵 系統鍵
USB接口 液晶顯示器 顯示鍵 數字鍵 觸發鍵
確定
退格
電源開關 接地 測試接線端口
功能選擇鍵 方向鍵 確定鍵
圖1
1.2.主機背面
通訊接口 溫度接口
電源接口
圖2
2.顯示界面圖
2.1.開機頁面
| 寧 波 瑞 柯 儀 器 有 限 公 司 Ningbo Rooko instrument co., Ltd FT-340系列電阻率測試儀 FT-340 serial resistivity tester 按顯示鍵繼續 TEL:0574-27868496 FAX:87460769 |
圖3
2.2.測試界面
| 瑞柯儀器 方 阻 接口：USB 測試功能：Rpk 電流：自動 電壓：低 清零：關 溫補：關 長度單位：mm 探針間距：mm 探針形狀：直形 溫度系數：0.000 厚度：mm 電壓：0.0v 溫度：0.00℃
|
| 方 阻
|
| 材料
|
| 放大
|
| 電阻：…………… 電阻率：………… 電導率：………….
|
圖2
圖4
| 瑞柯儀器 材 料 接口：USB 測試功能：Rpk 電流：自動 清零：關 溫補：關 長度單位：mm 試樣狀態：長方形 截面積 長： 寬： 高： 溫度系數：0.000
電壓：0.0v 壓強： 溫度：0.00℃
|
| 方 阻
|
| 材料
|
| 放大
|
| 電阻：…………… 電阻率：………… 電導率：………….
|
圖2
圖5
3、儀器與治具連接示意圖
3.1.以下系列型號：FT-341 ； FT-342 ； FT-343 ； FT-346物圖如下：
特別提示：本圖片包含本機所有配置，如購買中未選購其中部分，則圖片有所差異.
圖6
3.2.以下系列型號：FT-345 ；FT-347物圖如下：
特別提示：本圖片包含本機所有配置，如購買中未選購其中部分，則圖片有所差異.
圖7
四、工作原理和計算公式
1.雙電測四探針法測試薄層樣品方阻計算和測試原理如下：
直線四探針測試布局如圖8，相鄰針距分別為S1、S2、S3,根據物理基礎和電學原理：
當電流通過1、4探針，2、3探針測試電壓時計算如下：
四探針測試結構圖8
當電流通過1、2探針，4、3探針測試電壓時計算如下：
從以上計算公式可以看出：方阻RS只取決于R1和R2，與探針間距無關．針距相等與否對RS的結果無任何影響，本公司所生產之探針頭全部采用等距，偏差微小，對測試結果更加精準。
2.儀器工作原理圖
| 輸入
電源 |
| 被 測 物 |
| 液晶
顯示 |
| 電腦 軟件 打印 |
| 芯片
模塊 |
| 恒 流 源 |
圖9
五、操作流程和測試步驟
1.使用前期準備－－測試前準備工作：
1.1.開機預熱：將220V電源插頭插入電源插座，打開電源開關，讓儀器預熱15分鐘，保證測試數據穩定。若測試儀無法正常啟動，請按以下步驟檢查：
①檢查電源線是否接觸良好；
②檢查后面板上的電源開關是否已經打開
③檢查保險絲是否熔斷，如有必要，請更換保險絲
④ 如經上述檢查無誤后，測試儀仍未正常啟動，請聯系本公司進行解決。
1.2.準備好被測物，鏈接好測試探頭，把測試探頭接口與主機接口相連接，并鎖定，防止松動或接觸不良而對測試結果造成影響.
1.3.接通電源，開啟電源開關，待儀器液晶顯示屏上顯示出廠家和產品信息后，如圖3，按“顯示”鍵進入，
1.4.進入測試功能界面如圖4、圖5；如測試方阻時，請選擇液晶顯示屏又側對應 的功能按鍵“方阻”，則進入方阻測試界面；如測試其他材料時，請選擇“材料”則進入材料電阻，電阻率，電導率測試儀界面。
1.5.設置好被測物所需之參數，把被測物放于測試治具平臺上操作，測試完畢直接顯示測試數據。如配置軟件，軟件操作說明書同安裝軟件在一起，請注意查看操作步驟.
以下分別講解方阻和材料測試的設置
2.四探針雙電方阻測試步驟
2.1.上述步驟中1項，使用前期準備
2.2 把被測物測試所需要之參數數據設定：
2.2.1依據不同之測試樣品，選擇被測試電流，電流設置：按方向鍵移動光標至“電流”功能，按“設置”鍵進入；再按“左右”方向鍵選擇電流數據，選擇完畢后按“確定”鍵進行確認。按照以上步驟和方法選擇電壓、長度單位、探針形狀設定、溫度.
2.2.2.探針間距數據的輸入，探針間距出廠時已經標定，無需再次測量，探針頭上有詳細的探針數據資料，探針間距的設置：將光標移動至“探針間距”按“設置”鍵進入，通過面板上面的“數字”按鍵輸入數據按“確定”鍵進行確認；按照以上方法和步驟設定”厚度“，注意厚度和探針間距修正系數表已經設置在儀器程序中，自動修正，無需再次輸入和查詢表格。
2.3.測試探頭和測試平臺操作
選配測試平臺的將被測物放在測試平臺上，調節探頭探針與樣品良好接觸，探頭有二種，一種是探針是彈簧針型，一種是硬針而探頭內腔有彈簧；探頭有方型和直線型兩種結構；調節測試平臺上的水平定位角，保證水平儀水準在中心位置；放置好被測物品，后壓下探頭至被測物，帶數據穩定后讀取.
方阻測試時，在測試時電流的選擇也不同
根據國標GB/T1552-1995和根據ASTM F374-84標準方法測量方塊電阻所需要的電流值如下表所示
方塊電阻測試時電流量程選擇表
| 方塊電阻（Ω/□） | 電流量程 |
| 0－－-1.2 | 100mA |
| 1－－-25 | 10 mA |
| 20－－-250 | 1 mA |
| 200－－-2500 | 100μA |
| 2000－－-25000 | 10μA |
| 20000－－-250000 | 1μA |
| >200000 | 0.1μA |
方阻測試時根據用戶所選擇的電壓測量低壓6V，中壓15V，高壓32V；材料測試的時候一直是6V
3.材料電阻測試步驟：
操作步驟及流程
3.1.本機可以依據不同測試產品選擇配置不同的測試治具，以下舉例操作說明
3.1.1.在開機界面按下按鍵板上的“顯示”鍵，進入測量界面。如圖1
3.1.2 如圖2，在液晶顯示屏右側有4個藍色功能按鍵，當測材料電阻率時，請選擇 “材料”按鍵 ，進入材料測試主界面.
3.1.3.在該界面下通過按下按鍵板上的上下左右鍵，可以移動藍色光標選擇相應的參數。如圖2，將移動到某一參數的位置，按下“設置”鍵，光標將變為深藍色。此時通過上下左右鍵和數字鍵可以對相應的參數進行設置，設置完畢后按“確定”鍵返回。
3.1.4.如圖3接線方式，把主機與夾具連接線，連接好并固定住，
3.1.5.取試樣，試樣試驗前的處理依據標準進行，
3.1.6.把樣品放于固定治具夾口內，把HD和LD接口分別與治具接口連接（不分順序）如圖3；另外兩個接口與探頭接線位置連接，后，放入被測樣品，輸入高度數據（為探針之間的間距），其他數據為樣品本身尺寸。
3.1.7.試樣固定住后，加壓探頭探針至被測樣品表面，帶數據穩定后讀數.
3.1.8. 按下“放大”鍵對應的按鍵可以對當前界面的測量數據進行放大
3.1.9. 待參數設置完畢，開始測量，把測試獲得的數據寫入試驗報告中
3.1.10.以下設置和功能屬于配置操作軟件機型使用，如您購買的無電腦操作軟件的話，請勿設置.
3.1.11.接口：可選擇“USB”和“232”兩種模式。根據用戶使用的接口類型進行選擇。
測試功能：可選擇：“RρK”（顯示電阻，電阻率，電導率），“R”（只顯示電阻），“ρ”（只顯示電阻率，“K”（只顯示電導率）3種顯示模式。
原創作者：寧波瑞柯微智能科技有限公司
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