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技術文章/ARTICLE
半導體材料四探針電阻率測試步驟流程
點擊次數：8637 發布時間：2018/1/18 11:10:49
半導體采用四探針法測試電阻率及電導率，他的性質在一般情況下，半導體電導率隨溫度的升高而減小，這與金屬導體恰好相反。
上述特征的材料都可歸入半導體材料的范圍。反映半導體材料內在基本性質的卻是各種外界因素如光、熱、磁、電等作用于半導體而引起的物理效應和現象，這些為半導體材料的半導體性質。
半導體材料分為元素半導體、無機化合物半導體、有機化合物半導體和非晶態與液態半導體。
備制不同的半導體器件對半導體材料有不同的形態要求，包括單晶的切片、磨片、拋光片、薄膜等。半導體材料的不同形態要求對應不同的加工工藝。
半導體材料的特性參數對于材料應用甚為重要。不同的特性半導體材料決定不同的用途。
下面就半導體材料四探針電阻率測試儀給大家介紹下操作流程及操作步驟，就FT-341四探針電阻率測試儀為例，來做詳細的介紹：
1. 先備制好樣品，樣品一般需要在恒定的環境下放置一定的時間，來保證樣品性質的一致性。
2. 開機預熱，并準備好電腦開啟PC軟件，及固定好測試平臺的調節，探頭。
3. 將樣品放置于平臺上，并將旋轉上下調節旋鈕將探頭探針調節并壓著樣品表面。
4. 此時需要在顯示器上設置好測試條件，包括：測試電壓，電流、探針間距、通訊方式選擇、探針間距等相關數據。
5. 結果的輸出為：電阻（方阻）、電阻率、電導率等相關數據
6. 由于所有的修正數據已經寫入軟件，則，無需使用者做復雜的計算，全部由程序來完成。
FT-341雙電測電四探針方阻電阻率測試儀
本儀器本儀器采用四探針雙電測量方法，適用于生產企業、高等院校、科研部門，是檢驗和分析導體材料和半導體材料質量的一種重要的工具。本儀器配置各類測量裝置可以測試不同材料。液晶顯示，無需人工計算，并帶有溫度補償功能，電阻率單位自動選擇，儀器自動測量并根據測試結果自動轉換量程，無需人工多次和重復設置。采用高精度AD芯片控制，恒流輸出，結構合理、質量輕便，運輸安全、使用方便；選配：配備軟件可以由電腦操控，并保存和打印數據，自動生成報表；本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示，同時顯示液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導率，配置不同的測試治具可以滿足不同材料的測試要求。測試治具可以根據產品及測試項目要求選購.
雙電測數字式四探針測試儀是運用直線或方形四探針雙位測量。該儀器設計符合單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準。利用電流探針、電壓探針的變換，進行兩次電測量，對數據進行雙電測分析，自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應以及探針不等距和機械游移等因素對測量結果的影響，它與單電測直線或方形四探針相比，大大提高精確度，特別是適用于斜置式四探針對于微區的測試。
廣泛用于：覆蓋膜;導電高分子膜，高、低溫電熱膜;隔熱、防輻射導電窗膜 導電(屏蔽)布、裝飾膜、裝飾紙;金屬化標簽、合金類箔膜;熔煉、燒結、濺射、涂覆、涂布層，電阻式、電容式觸屏薄膜;電極涂料，其他半導體材料、薄膜材料方阻測試
硅晶塊、晶片電阻率及擴散層、外延層、ITO導電箔膜、導電橡膠等材料方塊電阻 半導體材料/晶圓、太陽能電池、電子元器件，導電薄膜（ITO導電膜玻璃等），金屬膜，導電漆膜，蒸發鋁膜，PCB銅箔膜，EMI涂層等物質的薄層電阻與電阻率 導電性油漆，導電性糊狀物，導電性塑料，導電性橡膠，導電性薄膜，金屬薄膜，抗靜電材料， EMI 防護材料，導電性纖維，導電性陶瓷等
參數資料
1.方塊電阻范圍：10-5～2×106Ω/□
2.電阻率范圍：10-6～2×106Ω-cm
3.測試電流范圍：0.1μA ，1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100 mA
4.電流精度：±0.1%讀數
5.電阻精度：≤0.3%
6.顯示讀數：液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導率
7.測試方式: 雙電測量
8.工作電源: 輸入: AC 220V±10% ,50Hz 功 耗：<30W
9.整機不確定性誤差: ≤4%（標準樣片結果）
10.選購功能: 選購1.pc軟件； 選購2.方形探頭； 選購3.直線形探頭； 選購4.測試平臺
11.測試探頭： 探針間距選購：1mm；2mm；3mm三種規格; 探針材質選購：碳化鎢針;白鋼針；鍍金磷銅半球形針
原創作者：寧波瑞柯微智能科技有限公司
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